驱动单元：
驱动单元电源： 输入电压：22VDC~26VDC
驱动功率：50W
驱动电机类型： 自研高精度步进电机。
压力传感器： 供电电压：±24VDC
信号输入：0-10VDC(压力)
输入阻抗：10KΩ
分辨率 ： 0.23mV
采样时间：10ms
传感器接口：DB-15连接2个传感器
角位移传感器： 分辨率：32767绝对值编码器，阀杆位置终端测量，测量精度更高
控制精度： 压力控制精度：≤0.5‰FS(5mV/10000)
位置控制精度：≤0.5‰FS(全脉冲行程)
响应时间： 全开到全关时间：0.5s
全关到全开时间：0.5s
动态响应时间： ≤ 2s
电气接口： D-Sub
通讯协议： RS485 /DeviceNet® /EtherCAT
环境温度： 驱动工作温度：-10~55℃
C02系列, 真空蝶阀
DN100
型号：02100-PEAK(RS485) / 02100-PEAQ(DeviceNet®) / 02100-PEAX (EtherCAT)
阀体单元：
使用压力范围： 1×10^-6Pa~2×10^5Pa (316L)
漏率： 1×10^-7Pa.L/s(316L)
阀体材料： 阀壳：316L
阀杆：316L
阀板：316L
阀杆密封： 密封圈：GB3451.2氟橡胶密封圈（FKM）
阀体接口：DN 100 ISO-F 接口
加热模块： 可定制
环境条件： 阀体工作温度： ≤150℃
